2016 年 3 月 1 日，飛納臺式掃描電鏡高分辨率專(zhuān)業(yè)版 Phenom Pro 在清華大學(xué)通過(guò)驗收。清華大學(xué)用戶(hù)主要研究信息光電子技術(shù)發(fā)展領(lǐng)域，包括光電子器件、集成光子器件、光纖通信與光網(wǎng)絡(luò )、光顯示、光纖傳感等。飛納臺式掃描電鏡高分辨率專(zhuān)業(yè)版 Phenom Pro 可以滿(mǎn)足該用戶(hù)課題組所有待觀(guān)測樣品的測試需求。高單色性的 CeB6 燈絲為飛納臺式掃描電鏡帶來(lái)高分辨率的同時(shí)，也減少了用戶(hù)頻繁更換燈絲的煩惱，單根CeB6 燈絲的壽命可達 1500 小時(shí)，平均 2-3 年更換一次，遠遠超過(guò)鎢燈絲平均 100 小時(shí)的壽命。以下是用戶(hù)課題組樣品的采用飛納臺式掃描電鏡拍攝的 SEM 圖片以及用戶(hù)學(xué)習電鏡操作和通過(guò)培訓的照片：

硅片上刻蝕光器件

光刻光柵陣列

用戶(hù)認真學(xué)習飛納電鏡的照片

順利拿到培訓合格證書(shū)

在用戶(hù)認真學(xué)習飛納臺式掃描電鏡后，順利地拿到了培訓合格證書(shū)。飛納臺式掃描電鏡體積小巧，*防震，對放置環(huán)境沒(méi)有特殊要求，放在普通實(shí)驗室即可。對用戶(hù)來(lái)說(shuō)，很有價(jià)值的一點(diǎn)是飛納臺式掃描電鏡操作簡(jiǎn)單，15 秒抽真空，結合光學(xué)導航和全自動(dòng)馬達樣品臺，可以快速檢測樣品，提高課題組的科研效率。

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