在當今高科技行業(yè)中，精密離子研磨技術(shù)的進(jìn)步對材料科學(xué)、半導體制造和納米技術(shù)的發(fā)展至關(guān)重要。

作為行業(yè)引領(lǐng)者，Technoorg Linda 再次突破創(chuàng )新，在匈牙利首都布達佩斯剛剛結束的全球會(huì )議中正式發(fā)布了其最新產(chǎn)品 —— 離子研磨儀 SEMPREP SMART 與離子精修系統 Gentle Ion Beam（GIB），為全球用戶(hù)帶來(lái)更加高效、精確的解決方案。

復納科學(xué)儀器（上海）有限公司作為 Technoorg Linda 在中國的d家合作伙伴，我們?yōu)榭蛻?hù)提供產(chǎn)品培訓、技術(shù)支持和售后服務(wù)。

當前在國內市場(chǎng)，Technoorg Linda 專(zhuān)注于引進(jìn)并推廣 SEM / TEM / FIB 樣品制備系列設備。本次發(fā)布的新產(chǎn)品 SEMPREP SMART 離子研磨儀主要用于掃描電鏡（SEM）樣品制備，Gentle Ion Beam（GIB）精修離子束系統主要用于雙束 SEM / FIB 系統中進(jìn)行 FIB 樣品制備后，對 TEM 樣品進(jìn)行zui終拋光和溫和的表面清潔。

新產(chǎn)品 01

SEMPREP SMART 離子研磨儀 

SEMPREP SMART 配備了高能量和可選的低能量氬離子槍。用于掃描電子顯微鏡（SEM）和電子背散射衍射（EBSD）樣品的最終加工和清潔。離子加工可以改進(jìn)和清潔機械拋光的 SEM 樣品，并為 EBSD 分析制備無(wú)損表面。該設備還適用于快速截面加工。為您制備高精度和高質(zhì)量的樣品，例如在半導體測試或鋰離子電池隔膜的截面檢查中均能實(shí)現出色的效果。

SEMPREP SMART

產(chǎn)品特點(diǎn)：

1.配方庫-離線(xiàn)：基于我們長(cháng)期的經(jīng)驗積累

• 先進(jìn)的離子槍設計和自動(dòng)化功能

  采用超高能離子槍?zhuān)罡呖蛇_ 16keV，帶來(lái)更快的加工速率，更優(yōu)異的加工效果。 

• 新型智能化操作軟件 

  Technoorg Linda 的新產(chǎn)品在設計上充分考慮了用戶(hù)的實(shí)際需求，開(kāi)創(chuàng )性的將 AI 算法集成到系統中，使操作更加智能化，提供多種操作模式：

1.配方庫-離線(xiàn)：基于我們長(cháng)期的經(jīng)驗積累

2.自動(dòng)配方生成 - 離線(xiàn)：基于簡(jiǎn)短問(wèn)卷

3.Linda AI - 在線(xiàn)：實(shí)時(shí)搜索最佳解決方案，訪(fǎng)問(wèn)龐大數據庫以獲取最佳結果

高效，全面，智能化的理解用戶(hù)需求，提供即時(shí)的反饋和解決方案

• 高分辨率數字相機

  在處理過(guò)程中用于樣品觀(guān)察 

• 全新的對位樣品臺

  在進(jìn)行 90° 截面樣品加工時(shí)帶來(lái)更加精確的樣品定位

• 可選的新型 LN2 冷卻系統

  為用戶(hù)帶來(lái)更加高效及精確的長(cháng)時(shí)間控溫

使用氬離子束進(jìn)行加工

• 平面加工模式

在樣品傾斜角小于 10 ° 且連續旋轉的條件下進(jìn)行加工

Cu-7.5wt.%Al 的 EBSD 晶粒取向分布 (a) 和晶界類(lèi)型 (b)

• 90° 截面加工模式

使用鈦或玻璃擋板進(jìn)行連續搖擺的截面加工

TFT 板的 90° 加工，位置精度為 ±1 微米                            加工點(diǎn)后方的 TFT表面細節           

新產(chǎn)品 02

GIB 精修離子束系統

Technoorg Linda 的精修離子束系統（GIB）適用于表面減薄、其他表面處理后的后處理、清潔以及去除無(wú)定形和氧化物表面層。當低能氬離子槍集成到掃描電鏡中時(shí)，其作用尤為明顯。有了集成離子槍?zhuān)涂梢栽谘芯恐皩悠愤M(jìn)行精修。實(shí)現高質(zhì)量樣品的另一個(gè)重要應用是在雙束 SEM / FIB 系統中進(jìn)行 FIB 樣品制備后，對 TEM 樣品進(jìn)行最終拋光和溫和的表面清潔。

GIB 精修離子束系統

產(chǎn)品特點(diǎn)：

• 儀器控制單元

  電子元件、閉環(huán)冷卻系統和氬氣壓力傳感器均位于控制單元內。高純度（99.999%）氬氣用于供應離子源，其流量由高精度針閥調節?？刂栖浖?nbsp;Windows 操作系統下運行，可以單獨安裝在一臺計算機上，也可以安裝在 SEM 的計算機上

• 可與掃描電鏡集成

  帶波紋管的傳輸系統可通過(guò)連接管安裝到掃描電鏡上。連接管輸出法蘭的尺寸與相應的 SEM 端口尺寸相匹配。通過(guò)線(xiàn)性傳輸系統提供離子源流動(dòng)性，可實(shí)現理想的工作距離（15-30 mm）。

• 低能量氬離子槍

  低能量離子槍的直徑和長(cháng)度均為 50mm。氬離子束的能量范圍：100keV - 2keV。2keV 時(shí)的最大束流為 70µA。離子束為寬束，FWHM 為 2mm。

歡迎您隨時(shí)聯(lián)系我們獲取更多產(chǎn)品詳情和應用案例