飛納桌面掃描電鏡在結構上展現了一系列特別之處,這些特點(diǎn)使其成為現代科研和工業(yè)領(lǐng)域中不可少的工具。其設計理念在于將高性能的電子顯微鏡技術(shù)濃縮成更小巧、便攜的形式,同時(shí)保留了傳統掃描電鏡的核心功能和高分辨率成像能力。
飛納桌面掃描電鏡的結構特點(diǎn):
-電子槍?zhuān)弘娮訕屖请娮庸鈱W(xué)系統的核心部分,它使用鎢單晶作為發(fā)射源,通過(guò)第一陽(yáng)極和第二陽(yáng)極加速電子,而鎢陰極則保持負電位,確保電子束的穩定發(fā)射。
-磁透鏡:磁透鏡用于將電子束聚焦成亮度高、直徑小的入射束,以便準確轟擊樣品表面。
-掃描線(xiàn)圈:掃描線(xiàn)圈負責控制電子束在樣品表面的掃描路徑,實(shí)現柵網(wǎng)式掃描,從而獲得樣品的高分辨率圖像。
-光闌:光闌用于調節電子束的大小,確保只有所需尺寸的電子束通過(guò),以?xún)?yōu)化成像效果。
-樣品室:樣品室是放置樣品的空間,設計上允許方便地更換樣品,同時(shí)保持高真空環(huán)境。
-探測器:探測器接收從樣品表面反射回來(lái)的電子束信號,這些信號包含了樣品表面形貌的信息。
-數據處理:接收到的信號經(jīng)過(guò)轉換和放大后輸入到顯像管,形成用戶(hù)可見(jiàn)的圖像。
-顯示系統:顯示系統負責將處理后的信號轉換為直觀(guān)的圖像,供用戶(hù)觀(guān)察和分析。
-機械泵:機械泵用于初步抽取樣品室內的空氣,達到低真空狀態(tài)。
-分子泵:分子泵進(jìn)一步降低樣品室內的壓力,以達到高真空環(huán)境,這對于電子束的穩定性和樣品保護至關(guān)重要。
-離子泵:離子泵用于維持高真空狀態(tài),確保電子束在傳輸過(guò)程中的能量損失小。
-穩壓穩流:電源系統提供穩定的電壓和電流,保證電子槍和其他組件的正常工作。
-安全保護電路:電源系統中還包含安全保護電路,以防止設備過(guò)載或短路等意外情況的發(fā)生。
-溫度控制:冷卻循環(huán)水系統用于維持設備在適宜的工作溫度,防止過(guò)熱導致設備損壞或影響實(shí)驗結果。
-數據存儲:圖像記錄系統負責將觀(guān)察到的圖像數據進(jìn)行存儲,便于后續的分析和研究。
-樣品制備:對于導電材料,可以直接放入樣品室進(jìn)行分析;而對于導電性差或絕緣的樣品,則需要噴鍍導電層以提高成像質(zhì)量。