飛納掃描電鏡(Field-Emission Scanning Electron Microscope，簡(jiǎn)稱(chēng)FE-SEM)是一種使用電子束顯微鏡技術(shù)的儀器。它利用電子束與樣品相互作用產(chǎn)生的像素級探測信號，對樣品進(jìn)行高分辨率、高放大倍數的觀(guān)察和分析。主要分為三個(gè)關(guān)鍵環(huán)節：電子源、電子束形成和探測系統。
 

　　電子源是飛納電子槍?zhuān)浣Y構由鎢絲和陽(yáng)極構成。在高溫下，鎢絲上的電子會(huì )被加熱到足夠高的能量，使電子克服鎢絲表面電子層的束縛，從而產(chǎn)生豐富的電子。
 

　　通過(guò)電子透鏡系統對電子束進(jìn)行聚焦和調制，使得電子束得到形態(tài)和強度。電子透鏡系統通常由多個(gè)電磁場(chǎng)透鏡和電偶極透鏡組成，能夠控制電子束的發(fā)射電流、聚焦和調制等參數。通過(guò)調節透鏡的參數，可以獲得所需的電子束直徑和掃描速度。
 

　　飛納掃描電鏡使用法拉第杯(或稱(chēng)二次電子檢測器)作為探測器。當電子束照射到樣品表面時(shí)，樣品與電子產(chǎn)生相互作用，其中包括二次電子的發(fā)射。這些二次電子在電場(chǎng)的作用下被加速并收集到法拉第杯中。根據二次電子的產(chǎn)生位置和數量，通過(guò)收集的信號可以生成最終的圖像。
 

　　飛納掃描電鏡的應用：
 

　　1.材料科學(xué)：觀(guān)察材料的表面形貌、晶體結構、納米顆粒等微觀(guān)結構，對材料的組成和性質(zhì)進(jìn)行研究。
 

　　2.生物科學(xué)：應用于生物領(lǐng)域，可以觀(guān)察生物細胞、組織和微生物等微觀(guān)結構，研究生物過(guò)程和生物材料的性質(zhì)。
 

　　3.半導體工業(yè)：觀(guān)察和評估半導體器件的制造質(zhì)量，同時(shí)可以進(jìn)行故障分析和故障定位。
 

　　4.納米技術(shù)：觀(guān)察納米顆粒、納米結構和納米材料的性質(zhì)和形貌，對納米技術(shù)的研究和應用提供支持。