全自動(dòng)掃描電鏡(Automated Scanning Electron Microscope，ASEM)是利用電子束與樣品相互作用產(chǎn)生的信號來(lái)形成圖像。電子源會(huì )發(fā)射出高能電子，并通過(guò)電磁透鏡、磁聚束和掃描線(xiàn)圈將電子束聚焦并把它迅速地掃描在樣品表面。樣品與電子束相互作用時(shí)，會(huì )產(chǎn)生多種信號，如二次電子、背散射電子和X射線(xiàn)等。這些信號被探測器捕捉，然后轉化為電信號并被發(fā)送到計算機進(jìn)行處理。
 

　　全自動(dòng)掃描電鏡的工作流程如下：
 

　　1.準備樣品：將要觀(guān)察的樣品固定在支架上，并進(jìn)行必要的處理，如鍍金、切片、切割等。樣品表面應盡量保持平整和潔凈。
 

　　2.調節電子束：通過(guò)調節電子源、透鏡和掃描線(xiàn)圈等參數，使電子束能夠達到所需的性能，如分辨率、深度、放大倍數等。
 

　　3.開(kāi)始掃描：?jiǎn)?dòng)，開(kāi)始對樣品進(jìn)行掃描。掃描模式有兩種常用方式：連續掃描和點(diǎn)掃描。連續掃描方式下，電子束會(huì )在樣品表面不停的掃描，從而形成全景圖像；而點(diǎn)掃描方式下，電子束會(huì )逐點(diǎn)掃描，并記錄下每個(gè)點(diǎn)的信號，生成高分辨率的圖像。
 

　　4.信號檢測：使用相應的探測器來(lái)檢測樣品產(chǎn)生的信號。二次電子信號是常用的信號類(lèi)型，它反映了樣品表面的形貌特征；背散射電子信號則提供了更多的化學(xué)信息；X射線(xiàn)探測器則可以用于元素分析等應用。
 

　　5.圖像處理和分析：采集到的信號通過(guò)電子學(xué)系統將其轉化為電信號并傳輸到計算機上。計算機會(huì )對信號進(jìn)行處理和解析，然后形成對應的圖像。利用圖像處理軟件，可以對圖像進(jìn)行增強、放大、測量和分析，以獲得所需的信息。
 

　　全自動(dòng)掃描電鏡的應用非常廣泛。它可以用于材料科學(xué)研究，例如表面形貌分析、粒子形態(tài)觀(guān)察和晶體結構分析等。在生物科學(xué)領(lǐng)域，可以用于細胞和組織的形態(tài)學(xué)觀(guān)察，幫助研究人員了解生物樣品的微觀(guān)結構和組織成分。此外，還可以應用于納米技術(shù)研究、電子元件分析和環(huán)境監測等領(lǐng)域。