飛納桌面掃描電鏡可粗略分為鏡體和電源電路系統兩部分。鏡體部分由電子光學(xué)系統、信號收集和顯示系統以及真空抽氣系統組成。由電子槍?zhuān)姶磐哥R，掃描線(xiàn)圈和樣品室等部件組成。其作用是用來(lái)獲得掃描電子束，作為信號的激發(fā)源。為了獲得較高的信號強度和圖像分辨率，掃描電子束應具有較高的亮度和盡可能小的束斑直徑。

 

　　檢測樣品在入射電子作用下產(chǎn)生的物理信號，然后經(jīng)視頻放大作為顯像系統的調制信號?，F在普遍使用的是電子檢測器，它由閃爍體，光導管和光電倍增器所組成。

 

　　掃描電鏡技術(shù)發(fā)揮著(zhù)重要的作用，被廣泛應用于各種材料的形態(tài)結構、界面狀況、損傷機制及材料性能預測等方面的研究。利用掃描電鏡可以直接研究晶體缺陷及其產(chǎn)生過(guò)程，可以觀(guān)察金屬材料內部原子的集結方式和它們的真實(shí)邊界，也可以觀(guān)察在不同條件下邊界移動(dòng)的方式，還可以檢查晶體在表面機械加工中引起的損傷和輻射損傷等。

 

　　飛納桌面掃描電鏡的附件：

 

　　掃描電鏡一般都配有波譜儀或者能譜儀。波譜儀和能譜儀是不能互相取代的，只能是互相補充。波譜儀是利用布拉格方程2dsinθ＝λ，從試樣激發(fā)出了X射線(xiàn)經(jīng)適當的晶體分光，波長(cháng)不同的特征X射線(xiàn)將有不同的衍射角2θ。

 

　　波譜儀是微區成分分析的有力工具。波譜儀的波長(cháng)分辨率是很高的，但是由于X射線(xiàn)的利用率很低，所以它使用范圍有限。能譜儀是利用X光量子的能量不同來(lái)進(jìn)行元素分析的方法，對于某一種元素的X光量子從主量子數為n1的層躍遷到主量子數為n2的層上時(shí)，有特定的能量ΔE＝En1－En2。

 

　　能譜儀的分辨率高，分析速度快，但分辨本領(lǐng)差，經(jīng)常有譜線(xiàn)重疊現象，而且對于低含量的元素分析準確度很差。