全自動(dòng)掃描電子顯微鏡是一種用于高分辨率微區形貌分析的儀器。具有景深大、分辨率高，成像直觀(guān)、立體感強、放大倍數范圍寬以及待測樣品可在三維空間內進(jìn)行旋轉和傾斜等特點(diǎn)。另外具有可測樣品種類(lèi)豐富，幾乎不損傷和污染原始樣品以及可同時(shí)獲得形貌、結構、成分和結晶學(xué)信息等優(yōu)點(diǎn)。

 

　　全自動(dòng)掃描電子顯微鏡類(lèi)型多樣，不同類(lèi)型的掃描電子顯微鏡存在性能上的差異。根據電子槍種類(lèi)可分為三種：場(chǎng)發(fā)射電子槍、鎢絲槍和六硼化鑭。其中，場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡根據光源性能可分為冷場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡和熱場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡。

 

　　冷場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡對真空條件要求高，束流不穩定，發(fā)射體使用壽命短，需要定時(shí)對針尖進(jìn)行清洗，僅局限于單一的圖像觀(guān)察，應用范圍有限；而熱場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡不僅連續工作時(shí)間長(cháng)，還能與多種附件搭配實(shí)現綜合分析。

 

　　電子顯微鏡利用電子成像，類(lèi)似于光學(xué)顯微鏡使用可見(jiàn)光成像。由于電子的波長(cháng)遠小于光的波長(cháng)，所以電子顯微鏡的分辨率要高于光學(xué)顯微鏡的分辨率。

 

　　像電子顯微鏡的所有組件一樣，電子槍也被密封在特殊的真空室中以保護它不受污染、振動(dòng)和噪音的影響。除了保護電子槍不受污染，真空環(huán)境有利于得到高分辨率圖像。

 

　　若非真空環(huán)境，鏡筒中可能存在其他原子和分子，它們與電子相互作用，使電子束發(fā)生偏轉，從而降低圖像質(zhì)量。高真空環(huán)境也提高了鏡筒內檢測器對電子的收集效率。