Unimill 離子減薄儀--用于 TEM/XTEM 樣品制備的全自動(dòng)離子束減薄系統

Technoorg Linda UniMill 離子減薄儀專(zhuān)為快速地制備具備高減薄率的、高質(zhì)量的 TEM/XTEM 樣品而設計。 Unimill 既可以使用超高能離子槍進(jìn)行快速研磨，也可以使用專(zhuān)用的低能離子槍進(jìn)行最終拋光和精修處理。

產(chǎn)品特色：

·可直接使用同一臺儀器進(jìn)行快速減薄和拋光/精細處理

·支持全自動(dòng)的離子槍參數設置和手動(dòng)調節離子束研磨參數

·具備廣泛的離子槍能量范圍： 低能離子槍與超高能離子槍結合，能量范圍可達 100 eV ~ 16 keV

·具備高的切削率

·可選擇配備 LN2 液氮制冷

離子槍優(yōu)勢

UniMill 包括兩支獨立控制的離子槍?zhuān)阂恢Ц吣芑虺吣茈x子槍和一支低能離子槍。

高能和超高能離子槍

Unimill 的高能和超高能離子槍提供了最高的研磨率。高達 16 keV 的離子槍專(zhuān)為要求極低研磨速率的 TEM 樣品制備而設計。

低能離子槍

離子槍的特殊結構可在整個(gè)制備過(guò)程中形成高束流密度。能量極低的離子束保證了表面損傷和離子束誘導非晶化效應的最小化。

離子槍控制

所有離子槍參數，如加速電壓和離子束電流在內均由智能反饋回路控制，但始終可以在樣品制備過(guò)程中進(jìn)行手動(dòng)調節。離子槍參數的初始值支持自動(dòng)設置或手動(dòng)調節，同時(shí)可在電腦上連續監控和顯示。

性能參數

離子槍

超高能離子槍?zhuān)蛇x）：

• 離子束能量：高達16 keV，連續可調

• 離子束電流：高達 500 μA

• 離子束直徑：1.6 - 1.8 mm (FWHM)

高能離子槍?zhuān)伺洌?/p>

• 離子束能量：高達10 keV，連續可調

• 離子束電流：高達 300 μA

• 離子束直徑：0.9 - 1.3 mm (FWHM)

低能離子槍?zhuān)?/p>

• 離子束能量：100 eV - 2 keV，連續可調

• 離子束電流：7 - 80 μA

• 離子束直徑：1.5 - 2.2 mm (FWHM)

樣品臺

1. 切削角度：0°- 40°，每 0.1° 連續可調

2. 電腦控制的平面內樣品旋轉和移動(dòng)：

3. 360° 旋轉

4. 從±10° 到±120° 移動(dòng)，每 10° 連續可調

5. 可兼容的 TEM 樣品厚度范圍 (30 - 200 μm)

成像系統

• 用于全視覺(jué)控制和切削監控/終止的 CMOS 相機圖像

• 高分辨率彩色 CMOS 相機

• 50 - 400 倍放大范圍的手動(dòng)變焦視頻鏡頭

電腦控制

• 內置工業(yè)級計算機

• 簡(jiǎn)單便捷的圖形界面和圖像分析模塊

• 支持用戶(hù)手動(dòng)調節離子槍參數，包括氣流調節

• 用于自動(dòng)設置機械和切削參數的預編程方案（可以

手動(dòng)調整）

• 自動(dòng)樣品加載

• 自動(dòng)終止：圖像分析模塊支持的切削過(guò)程的光學(xué)終止

（ 通過(guò)檢測薄區穿孔或監測表面形貌）

供氣系統

• 99.999% 純氬氣，絕對壓力為 1.3 - 1.7 bar

• 帶有電子出口壓力監測功能的惰性氣體專(zhuān)用壓力調節器

•工作氣體流量高精準控制

真空系統

• Pfeiffer 真空系統配備無(wú)油隔膜和渦輪分子泵，配備緊湊

的全范圍 Pirani/Penning 真空計

電源要求

• 100 - 120 V/10 A/ 50-60 Hz 或 220 - 240 V/5 A/ 50-60 Hz

成像案例