?2017 年 7 月 4 日-7 日，第 24 屆 IPFA 會(huì)議在四川成都盛大舉行，飛納電鏡攜飛納臺(tái)式掃描電鏡能譜一體機(jī) Phenom ProX 出席了此次會(huì)議。

IPFA 是有關(guān)半導(dǎo)體物理分析、失效分析及可靠性方面學(xué)術(shù)水平zui高、規(guī)模zui大、影響zui廣的會(huì)議，IPFA 是 International symposium on the physical & failure analysis of integrated circuits 的簡(jiǎn)稱，中文全稱集成電路物理與失效分析會(huì)議。1987 年，首屆 IPFA 會(huì)議由 IEEE 失效分析分會(huì)在新加坡舉辦，2001 年之前，IPFA 會(huì)議每?jī)赡昱e行一次。2002 年起每年舉行一次。IPFA 已經(jīng)發(fā)展為舉足輕重的可靠性與失效分析會(huì)議組織。在美國(guó)，相應(yīng)的會(huì)議為 IRPS（可靠性物理會(huì)議）和 ISTFA（測(cè)試與失效分析會(huì)議）；在歐洲，相應(yīng)的會(huì)議為 ESREF（歐洲電子器件可靠性與失效物理分析會(huì)議）。本次 IPFA 會(huì)議，飛納臺(tái)式掃描電鏡操作簡(jiǎn)單，快速方便，成像清晰，能譜靈敏，設(shè)計(jì)精巧給來訪者留下了深刻的印象。

飛納電鏡應(yīng)用工程師現(xiàn)場(chǎng)給來訪者展示樣品測(cè)試

飛納電鏡內(nèi)部集成彩色光學(xué)顯微鏡全景導(dǎo)航（右上角）

由于半導(dǎo)體器件體積小、重量輕、壽命長(zhǎng)、功率損耗小、機(jī)械性能好。因而適用的范極廣。然而半導(dǎo)體器件的性能和穩(wěn)定性在很大程度上受它表面的微觀狀態(tài)的影響。一般在半導(dǎo)體器件試制和生產(chǎn)過程中包括了切割、研磨、拋光以及各種化學(xué)試劑處理等一系列工序， 正是在這些過程中，會(huì)造成表面的結(jié)構(gòu)發(fā)生驚人的變化，所以幾乎每一個(gè)步驟都需要對(duì)表面進(jìn)行檢查，而生產(chǎn)大型集成電路就更是如此。目前，掃描電鏡在半導(dǎo)體中的應(yīng)用已經(jīng)深入到許多方面。

飛納臺(tái)式掃描電鏡 15 秒抽真空，30 秒成像，大大提高了半導(dǎo)體器件的檢測(cè)效率。操作比光學(xué)顯微鏡簡(jiǎn)單，相對(duì)于傳統(tǒng)落地式掃描電鏡能更快地得到掃描電鏡圖像結(jié)果。飛納電鏡使用長(zhǎng)壽命 1500h，高亮度（是鎢燈絲亮度的 10 倍），低色差的 CeB6 燈絲，圖像信號(hào)充足。

飛納電鏡拍攝的集成電路內(nèi)部 放大倍數(shù) 20000x

飛納電鏡拍攝的集成電路內(nèi)部 放大倍數(shù) 50000x

飛納電鏡拍攝的微機(jī)電電路 放大倍數(shù) 5000x

飛納電鏡拍攝的微機(jī)電電路 放大倍數(shù) 10000x

飛納電鏡拍攝的 LED 芯片截面 放大倍數(shù) 70000x

飛納電鏡公司及產(chǎn)品介紹

感謝本次第 24 屆 IPFA 會(huì)議，為半導(dǎo)體行業(yè)的工作者和飛納電鏡筑起了一座橋梁，讓很多半導(dǎo)體行業(yè)的工作者全面了解飛納電鏡的使用方法及性能，也讓飛納電鏡的工程師了解了半導(dǎo)體行業(yè)的研究熱點(diǎn)與方向。