高分辨率臺式掃描電鏡可粗略分為鏡體和電源電路系統兩部分。鏡體部分由電子光學(xué)系統、信號收集和顯示系統以及真空抽氣系統組成。由電子槍?zhuān)姶磐哥R，掃描線(xiàn)圈和樣品室等部件組成。其作用是用來(lái)獲得掃描電子束，作為信號的激發(fā)源。為了獲得較高的信號強度和圖像分辨率，掃描電子束應具有較高的亮度和盡可能小的束斑直徑。

 

　　高分辨率臺式掃描電鏡由電子槍發(fā)射出來(lái)的電子束，在加速電壓的作用下，經(jīng)過(guò)磁透鏡系統匯聚，形成直徑為5nm，經(jīng)過(guò)二至三個(gè)電磁透鏡所組成的電子光學(xué)系統，電子束會(huì )聚成一個(gè)細的電子束聚焦在樣品表面。

 

　　檢測樣品在入射電子作用下產(chǎn)生的物理信號，然后經(jīng)視頻放大作為顯像系統的調制信號?，F在普遍使用的是電子檢測器，它由閃爍體，光導管和光電倍增器所組成。

 

　　在材料領(lǐng)域中，掃描電鏡技術(shù)發(fā)揮著(zhù)重要的作用，被廣泛應用于各種材料的形態(tài)結構、界面狀況、損傷機制及材料性能預測等方面的研究。利用掃描電鏡可以直接研究晶體缺陷及其產(chǎn)生過(guò)程，可以觀(guān)察金屬材料內部原子的集結方式和它們的真實(shí)邊界，也可以觀(guān)察在不同條件下邊界移動(dòng)的方式，還可以檢查晶體在表面機械加工中引起的損傷和輻射損傷等。

 

　　掃描電鏡所顯示的斷口形貌從深層次，高景深的角度呈現材料斷裂的本質(zhì)，在教學(xué)、科研和生產(chǎn)中，有不可替代的作用，在材料斷裂原因的分析、事故原因的分析已經(jīng)工藝合理性的判定等方面是一個(gè)強有力的手段。