高分辨率臺式掃描電鏡主要包括真空泵和真空柱兩部分，真空柱是一個(gè)密封的柱形容器，真空泵用來(lái)在真空柱內產(chǎn)生真空，有機械泵、油擴散泵以及渦輪分子泵三大類(lèi)，機械泵加油擴散泵的組合可以滿(mǎn)足真空要求。

 

　　高分辨率臺式掃描電鏡由真空系統、電子光學(xué)系統、樣品室和樣品臺、電子探測器、背散射電子探頭、真空泵、自動(dòng)穩壓器、工具、計算機、操作軟件及附件組成，主要用于材料科學(xué)、化學(xué)化工、生命科學(xué)以及相關(guān)領(lǐng)域的研究工作，對各種掃描電鏡工產(chǎn)品、生物制品、非金屬礦及深加工產(chǎn)品等進(jìn)行觀(guān)測。

 

　　電子束系統中的燈絲在普通大氣中會(huì )迅速氧化而失效，所以除了在使用SEM時(shí)需要用真空以外，平時(shí)還需要以純氮氣或惰性氣體充滿(mǎn)整個(gè)真空柱。為了增加電子的平均自由程，從而使得用于成像的電子更多。

 

　　不僅可在真空下，還可在大氣壓下進(jìn)行觀(guān)察，含水樣品也無(wú)需前處理即可直接觀(guān)察，是目前市面上一款大氣壓模式下觀(guān)測的掃描電鏡，免去了了生物，食品，化妝品等樣品復雜的前處理過(guò)程，同時(shí)還能觀(guān)察樣品的原始形貌。

 

　　臺式掃描電鏡直觀(guān)便捷的四步工作流程可以快速成像、簡(jiǎn)化分析程序、提高工作效率。您會(huì )比以往更快、更多的獲取數據。掃描電鏡有較高的放大倍數，幾萬(wàn)～幾十萬(wàn)倍之間連續可調；有很大的景深，視野大，成像富有立體感，可直接觀(guān)察各種試樣凹凸不平表面的細微結構；試樣制備簡(jiǎn)單。

 

　　目前的掃描電鏡都配有X射線(xiàn)能譜儀裝置，這樣可以同時(shí)進(jìn)行顯微組織性貌的觀(guān)察和微區成分分析，因此它是當今十分有用的科學(xué)研究?jì)x器。