臺式掃描電子顯微鏡是介于透射電鏡和光學(xué)顯微鏡之間的一種微觀(guān)形貌觀(guān)察手段，可直接利用樣品表面材料的物質(zhì)性能進(jìn)行微觀(guān)成像。利用電子和物質(zhì)的相互作用，可以獲取被測樣品本身的各種物理、化學(xué)性質(zhì)的信息，如形貌、組成、晶體結構、電子結構和內部電場(chǎng)或磁場(chǎng)等等。

 

　　臺式掃描電子顯微鏡正是根據上述不同信息產(chǎn)生的機理，采用不同的信息檢測器，使選擇檢測得以實(shí)現。如對二次電子、背散射電子的采集，可得到有關(guān)物質(zhì)微觀(guān)形貌的信息；對x射線(xiàn)的采集，可得到物質(zhì)化學(xué)成分的信息。

 

　　掃描電鏡的另一個(gè)重要特點(diǎn)是景深大，圖像立體掃描電鏡的透射電鏡是光學(xué)顯微鏡的10倍由于圖像景深較大，獲得的掃描電子圖像具有三維感強、形狀三維等特點(diǎn)，比其他顯微鏡能提供更多的信息，對用戶(hù)有很大的價(jià)值掃描電鏡所表明斷裂形態(tài)從深層和高景深的角度反映了材料斷裂的性質(zhì)，在教學(xué)科研和生產(chǎn)中具有不可替代的作用，是材料斷裂原因分析、事故原因分析、工藝合理性確定等方面的有力工具。

 

　　因電子照射而發(fā)生試樣的損傷和污染程度很小。掃描電鏡同其他方式的電子顯微鏡比較，由于用于觀(guān)察的電子探針電流小，電子探針的束斑尺寸小，電子探針的能量也小此外，它不會(huì )在固定處照射樣品，而是通過(guò)光柵掃描照射樣品因此，對一些生物樣品進(jìn)行觀(guān)察是非常重要的，因為樣品的損傷和污染程度都很小。