飛納掃描電鏡是一款使用高亮度CeB6燈絲的高分辨臺式掃描電鏡。放大倍數350，000倍，用于觀(guān)察納米或者亞微米樣品的微觀(guān)結構。
一、掃描電鏡樣品的基本要求：
1、導電性能好，樣品在電子束反復掃描下表面電位不會(huì )升啊，避免電荷效應；
2、熱穩定性能好，電子束溫度較高，導熱性差的樣品在觀(guān)察時(shí)會(huì )漂移，圖像不穩定有些熱敏感材料會(huì )損傷，觀(guān)察部位起泡、龜裂、出現空洞；
3、二次電子和背散射電子產(chǎn)率高；
簡(jiǎn)單的說(shuō)：
1、樣品的導電性
2、樣品的尺寸
3、樣品的清潔干燥
4、粉末樣品的固定
5、組織、夾雜物試樣的制備
因DBSD的樣品分析時(shí)要傾斜70°等特性，EBSD的樣品制備要求更高一些，表面平整、清潔、無(wú)殘余應力；需要絕對的取向數據時(shí)，樣品外觀(guān)坐標系要準確，尺寸約為1-3CM或稍小一些。
二、樣品的制備：
1、試樣的鑲嵌
什么時(shí)候鑲嵌：
a、在看邊緣信息時(shí)
b、試樣太小或者形狀很不規則時(shí)
鑲嵌類(lèi)型分以下兩種：
熱鑲嵌法：首先要保證發(fā)生熱固化或熱塑性的溫度不會(huì )導致被鑲嵌試樣組織發(fā)生變化。通常推薦熱鑲嵌方式。
冷鑲嵌法：環(huán)氧樹(shù)脂或丙烯酸樹(shù)脂
2、試樣的清潔
樣品受污染或SEM受到污染會(huì )導致圖像質(zhì)量變差，所以清潔樣品很重要，可用吸耳球吹或者將樣品放入丙酮或者酒精中，超聲清潔至少10秒。
3、試樣的磨拋
飛納掃描電鏡產(chǎn)品參數：
光學(xué)顯微鏡：放大20-135倍
電子顯微鏡：350，000倍
探測器：高靈敏度四分割背散射電子探測器
燈絲材料：1，500小時(shí)CeB6燈絲
分辨率：優(yōu)于6nm
放置環(huán)境：采用專(zhuān)業(yè)防震設計，可擺放于普通實(shí)驗室或辦公室、廠(chǎng)房
加速電壓：5kV-15kV連續可調
抽真空時(shí)間：小于15秒
