一、能譜定量不準確的原因

能譜（EDS）結合掃描電鏡使用，能進(jìn)行材料微區元素種類(lèi)與含量的分析。其工作原理是：各種元素具有自己的X 射線(xiàn)特征波長(cháng)，特征波長(cháng)的大小則取決于能級躍遷過(guò)程中釋放出的特征能量E，能譜儀就是利用不同元素X 射線(xiàn)光子特征能量不同這一特點(diǎn)來(lái)進(jìn)行成分分析的。

能譜定量分析的準確性與樣品的制樣過(guò)程，樣品的導電性，元素的含量以及元素的原子序數有關(guān)。因此，在定量分析的過(guò)程中既有一些原理上的誤差（數據庫及標準），我們無(wú)法消除，也有一些人為因素產(chǎn)生的誤差（操作方法），這些因素都會(huì )導致能譜定量不準確。