通過(guò)之前的 “如何通過(guò)選擇加速電壓來(lái)提高掃描電鏡的圖像質(zhì)量” 與 “樣品導電性對掃描電鏡成像的影響” 這兩篇文章，大家都了解了加速電壓與樣品導電性對圖像的成像質(zhì)量有非常大的影響。

其實(shí)，除了加速電壓與樣品的導電性，電鏡的束流強度、圖像亮度對比度、圖像像散等都會(huì )影響掃描電鏡圖像的成像質(zhì)量。今天，這篇文章將圍繞如何選擇束流強度，提高樣品的成像質(zhì)量。

掃描電鏡的發(fā)射束流強度對圖像的信噪比和分辨率（resolution）有著(zhù)決定性的影響。大束流可以提高圖像的信噪比，但是分辨率較低。小束流則正好相反，具有較高的分辨率，但信噪比較差。

在這里，小編需要給大家簡(jiǎn)單科普一下分辨率與信噪比的含義，有利于大家理解后面的內容：

分辨率是掃描電鏡主要性能指標，對成像而言，指能分辨兩點(diǎn)之間的小距離（如圖1 所示）。通常來(lái)說(shuō)，分辨率越高，樣品的邊緣會(huì )越鋒利。

圖1  分辨率定義（兩點(diǎn)間距離）?