在2018 年之前，為何沒(méi)有看到使用肖特基場(chǎng)發(fā)射電子源（FEG）的臺式掃描電子顯微鏡（SEM）呢？為何在臺式掃描電鏡（SEM）中使用場(chǎng)發(fā)射電子源（FEG）是十分的呢?

當臺式掃描電鏡遇見(jiàn)場(chǎng)發(fā)射電子源

臺式掃描電鏡（SEM）是一個(gè)相對年輕且發(fā)展迅速的產(chǎn)品。其實(shí)許多應用領(lǐng)域并不需要使用低于1 nm 的超高分辨率掃描電鏡（SEM），10 nm 的分辨率是綽綽有余的。然而，由于材料特征點(diǎn)尺寸越來(lái)越小和觀(guān)測需求的增加，臺式掃描電鏡（SEM）用戶(hù)有時(shí)希望設備能夠具有更好的分辨率，并且保持測樣效率不變、操作依然簡(jiǎn)便。

飛納臺式場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡的誕生

在設計新的掃描電鏡（SEM）時(shí)會(huì )出現諸多挑戰。通常，為了獲得更好的性能，新設備的規格需要更高的要求。另一個(gè)挑戰是新系統的出現，不會(huì )影響到飛納臺式掃描電鏡（SEM）的操作簡(jiǎn)便性?？梢宰寷](méi)有掃描電鏡（SEM）操作經(jīng)驗的實(shí)驗室管理員能夠在短時(shí)間內熟練操作電鏡。那么，當飛納電鏡從CeB6電子源升級到FEG 電子源時(shí)，將面臨的挑戰是什么？

首先，需要分析掃描電鏡（SEM）電子源之間的差異。