腳本是幫助掃描電鏡（SEM）操作員日常工作的小型軟件工具。它可以用來(lái)自動(dòng)完成重復性的任務(wù)，快速掃描大面積區域，或者在測量時(shí)獲得更高的重復性。要做到這一點(diǎn)，必須開(kāi)發(fā)一個(gè)軟件腳本。在這篇博客中，我們將指導如何開(kāi)發(fā)一個(gè)小腳本。

掃描電鏡工作流程

通常，掃描電鏡（SEM）的工作流程包括以下步驟:

1. 樣品制備和裝載。
2. 圖像采集
3. 分析
4. 評估
5. 報告
6. 結論

工作流程如圖1所示。步驟1到4可以使用腳本自動(dòng)執行。在我們之前的博客中已經(jīng)講解了樣品制備技術(shù)，以及濺射涂層如何幫助掃描電鏡（SEM）成像。

圖像采集，步驟1，主要是自我描述性的，并且涉及到獲得高質(zhì)量圖像所*的所有步驟。首先將樣品移到顯微鏡下的正確位置，并設置圖像參數。通過(guò)獲取和保存圖像完成任務(wù)。

圖像分析涉及圖像的處理，從圖像中獲取物理量。例如：

1. 設置背散射（BSD）圖像閾值，以量化圖像中的成分差異。
2. 分割圖像以找到粒子
3. 測量工作距離，以檢測樣品的高度

圖1：掃描電鏡工作流程

在評估步驟中，對物理量進(jìn)行評價(jià)和分類(lèi)?？梢酝ㄟ^(guò)以下方式完成：

1. 根據粒子的形態(tài)學(xué)計數粒子
2. 確定樣品的覆蓋范圍
3. 計算樣品上的缺陷數量

在報告步驟中，報告自動(dòng)包含所有相關(guān)信息，以作出明智的決定。該報告可能是:

1. 獲得的掃描電鏡圖像的有用信息
2. 直方圖顯示了樣品信息，例如覆蓋率或大小分布
3. 完整的PDF報告，包括表格、圖表和圖片

如果腳本是有效的，那么所有這些步驟都可以通過(guò)單擊一個(gè)按鈕來(lái)完成，并且在獲取和處理過(guò)程完成后，會(huì )出現一個(gè)報告。操作員只需檢查報告并決定合適的操作。

在這篇博客中，我們將關(guān)注腳本開(kāi)發(fā)的步，并解釋如何地獲取圖像，以及如何使用合適的參數。在以后的博客中，我們將詳細探討其他步驟。