專(zhuān)為研發(fā)設計：飛納臺式掃描電鏡

傳統的加工通常采用激光燒蝕來(lái)切割或銑削材料。 超高速微加工和微機械利用短脈沖激光，在微米尺度下創(chuàng )造或切割2D或3D結構。對這些微結構的分析需要掃描電鏡（SEM），提供高分辨率的大范圍的圖像。因為在使用新材料時(shí)要測試的變量很多，所以在開(kāi)發(fā)過(guò)程中，需要花費很多時(shí)間在設備中進(jìn)行掃描。很明顯，現場(chǎng)成像微觀(guān)結構是必要的。在對不同系統的臺式掃描電鏡和相同的樣品進(jìn)行圖像評估后，Tommaso Baldacchini博士選擇了飛納臺式掃描電鏡高分辨率專(zhuān)業(yè)版Phenom Pro，并指出它是“專(zhuān)門(mén)為研究和開(kāi)發(fā)所設計的”。

高精度微型加工結構

創(chuàng )建微型或納米器件的傳統方法往往不再適用，因為尺寸正不斷縮小。理波（Newport）公司開(kāi)發(fā)了一種利用雙光子聚合（TPP）來(lái)制造復雜結構的激光mFAB。TPP是一種印刷技術(shù)，可實(shí)現特征尺寸小至100 nm的聚合物微結構的真實(shí)三維書(shū)寫(xiě)。理波（Newport）公司已將TPP應用于之前不可能用標準制造技術(shù)制造的設備。包括微電子學(xué)，光子學(xué)和用于藥物輸送的生物醫學(xué)裝置。

這里展示了TPP創(chuàng )建的結構的示例。TPP是*能夠在這些長(cháng)度范圍內制造物體的技術(shù)。臺式掃描電鏡（SEM）是分析這些微觀(guān)結構表面特征的*儀器。

TPP是一種增材制造工藝，通過(guò)激光誘導光聚合將材料添加到基材上。 激光mFAB也可以執行消減類(lèi)型的過(guò)程，如聚合物消融。 在下面一組圖像中顯示了在納米尺度上去除材料的示例。

對于這個(gè)燒蝕樣品，使用了飛納臺式掃描電鏡高分辨率專(zhuān)業(yè)版Phenom Pro來(lái)驗證消融線(xiàn)是否清晰完整，是否有碎片或凸起的邊緣。超短脈沖激光器用于激光mFAB的高精度冷切割。材料聚合物和電介質(zhì)（消融）的應用從光伏到平板顯示器有很多種。

掃描電鏡（SEM）提供了所需的景深，可以看到頂部、側面和底部。在微觀(guān)和納米尺寸上，需要用飛納臺式掃描電鏡（SEM）對消融結構進(jìn)行成像。