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使用的飛納電鏡,荷蘭VDL ETG公司正在探索清潔度提升的極限
在高科技行業(yè)中,組件的發(fā)展趨勢是變得越來(lái)越干凈,例如對于真空系統的組件??蛻?hù)不能忍受哪怕是很小的灰塵顆粒。然而,為了去除它們,生產(chǎn)商必須首先發(fā)現它們。用的飛納臺式掃描電鏡,可以探測到萬(wàn)分之一毫米的粒子。荷蘭VDL ETG公司為了清潔晶元而購買(mǎi)了飛納電鏡。在常規正常生產(chǎn)中,也被證明是非常有用的。
研究清潔的方法
“如果客戶(hù)的目標是追求越來(lái)越干凈,那么我們就必須知道正在和他們討論的是什么。”“知識就是力量”,Geert Jakobs說(shuō)到。他是VDL ETG技術(shù)開(kāi)發(fā)公司的總。他的公司,包括TNO和ASM Europe,正在一起參與一個(gè)歐洲研究項目,以研究開(kāi)發(fā)新的晶圓清潔工藝。“我們需要更多地了解清潔產(chǎn)品的制造,為此,這個(gè)項目是一個(gè)不錯的平臺。”它是關(guān)于從組件表面去除微小的100納米(一納米是百萬(wàn)分之一毫米)的塵埃顆粒。
我們在這個(gè)項目中的目標是研究公司必須使用的生產(chǎn)方法。這些粒子非常小,以至于不能再用傳統的技術(shù)看到它們(比如近紫外光直接檢查)。因此,我們需要尋找一種方法來(lái)檢測這些粒子,并確定它們的來(lái)源。
荷蘭產(chǎn)品
VDL ETG購買(mǎi)了來(lái)自荷蘭埃因霍溫的飛納臺式掃描電鏡。飛納臺式掃描電鏡能譜一體機 Phenom ProX 不僅可以用來(lái)成像,還可以用其內置的能譜儀EDS進(jìn)行化學(xué)元素分析。
技術(shù)Luuk Berkelaar說(shuō),正是飛納電鏡的技術(shù)指標和實(shí)際性能贏(yíng)得了VDL ETG的青睞。“分辨率和放大倍數是對我們來(lái)說(shuō)zui重要的參數。此外,利用元素分析可以確定粉塵顆粒的化學(xué)成分,從而可以追溯其根本原因。”此外,VDL ETG還購買(mǎi)了于測量和分類(lèi)粉塵顆粒的顆粒統計分析測量系統,以及表面粗糙度的測定軟件。
VDL ETG采購飛納電鏡的主要原因是什么呢。飛納Phenom是一個(gè)荷蘭產(chǎn)品確實(shí)很重要,但不是直接決定因素;競爭對手產(chǎn)品也同樣被關(guān)注。特別重要的是的指標參數——以及另一種支持荷蘭產(chǎn)品的觀(guān)點(diǎn)——距離Phenom-World總部更近。
Berkelaar說(shuō)到:“Phenom-World公司非常友好和開(kāi)放,我們直接與了解產(chǎn)品技術(shù)的人員面對面交流”。來(lái)自VDL ETG的工作人員對電鏡系統的工作和軟件使用提供了非常好的反饋:還有什么掃描電鏡可以稍微不同甚至更好?”
飛納Phenom的優(yōu)點(diǎn)是比它的競爭對手更緊湊,所以它可以被放置在一個(gè)標準的超凈臺里面(為了防止環(huán)境里的污染物進(jìn)入。
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