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在進(jìn)行掃描電鏡(SEM)分析時(shí),為了獲得感興趣區域*的圖像效果,必須考慮一些重要的參數。其中一個(gè)很重要的參數就是加速電壓,它是加在電子槍的陰極和陽(yáng)極之間,用來(lái)加速電子產(chǎn)生電子束的。加速電壓的選擇與樣品的導電性、放大倍數及圖片質(zhì)量等因素有關(guān)。一般來(lái)說(shuō),加速電壓越高,圖像的分辨率越高。
在zui近幾年,掃描電鏡(SEM)廠(chǎng)商已經(jīng)開(kāi)始致力提高低電壓成像的分辨率。低電壓成像技術(shù)主要應用于生命科學(xué)領(lǐng)域,特別是在獲得諾貝爾獎的冷凍電鏡技術(shù)問(wèn)世之后。這篇博客將集中討論加速電壓對分析圖像的影響。
加速電壓決定作用區域的大小
加速電壓是電子能量的象征,它決定了電子束與樣品之間的相互區大小。一般情況下,加速電壓越高,電子束在樣品表面穿透越深,作用區也就越大。
這意味著(zhù)電子將在樣品中更深入地傳播,并在不同區域中產(chǎn)生信號。樣品的化學(xué)成分也會(huì )對作用區的大小產(chǎn)生影響:輕元素的核外電子層數較少,電子能量較低,這限制了其對入射電子的影響。因此與重元素的樣品相比,電子束對于輕元素樣品的穿透更深。
對輸出信號進(jìn)行分析時(shí),可以得到不同的結果。在臺式掃描電鏡中,通常檢測到三種信號:背散射電子(BSE)、二次電子(SE)和X射線(xiàn)。
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