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掃描電鏡(SEM)用電子束掃描樣品表面,收集攜帶電子束與樣品相互作用信息的反射電子。如果樣品倉內殘留有空氣,空氣原子與電子束相互作用,部分偏轉電子,并在圖像上增加噪聲。
這就是掃描電鏡成像前必須達到一定真空度的原因。但是,雖然高的真空對于準確的分析來(lái)說(shuō)是至關(guān)重要的,但它也會(huì )對某些類(lèi)型的材料成像產(chǎn)生負面影響,例如含有水分的樣品。閱讀這篇博客,了解如何在掃描電鏡的真空環(huán)境中觀(guān)察對真空敏感的樣品,并保持樣品結構完整。
SEM中的真空度
首先,我們來(lái)談?wù)剴呙桦婄R(SEM)中的真空度。真空度(或壓力值)可由操作者控制。對于臺式掃描電鏡,真空度在1 - 10帕斯卡之間。用于比較的是:大氣壓是100000帕斯卡。
當壓力降到大氣壓值以下時(shí),所有液體都會(huì )發(fā)生相變。因此所有掃描電鏡(SEM)的內部必須采用不受高真空度影響的特殊材料。
有些樣品會(huì )受到影響,并且它們的行為也會(huì )有所不同:zui敏感的是含水樣品。
有內部孔隙的樣品,或者是由含水材料制成的樣品,都可能會(huì )受到影響,因為它們會(huì )在成像過(guò)程中釋放出氣體。
任何從樣品中釋放出的氣體都是成像工具的風(fēng)險,因為它可能會(huì )污染鏡筒或探測器,損害儀器的功能,或影響圖像質(zhì)量。出于這個(gè)原因,飛納臺式掃描電鏡(Phenom Desktop SEM)通常配備一個(gè)保護程序,當檢測到突然或意外增加的壓力水平時(shí),會(huì )彈出樣品。
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