自動(dòng)拼圖軟件（AIM）在SEM大景深樣品拍攝中的應用

圖1 自動(dòng)拼圖軟件界面

自動(dòng)拼圖（Automated Image Mapping）軟件（圖1）選件是飛納電鏡的又一功能強大的實(shí)用軟件。其主要優(yōu)勢總結如下：

• 大范圍內自動(dòng)收集多張圖片
• 生成大面積視野的圖片
• 自動(dòng)生成高分辨率、高清晰度大圖
• 操作簡(jiǎn)單，“選擇區域”然后“掃描”即完成

以下舉例說(shuō)明其各個(gè)優(yōu)勢及其應用場(chǎng)合：

• 大范圍多張圖片的收集對于ParticleMetric顆粒系統、PoroMetric 孔洞系統的作用

下圖2(a) 是顆粒樣品的AIM拼圖結果，這張圖的分辨率達到了9631×6683，占用空間達到了31.8Mb，采用70張圖拼成，單張圖片的效果見(jiàn)圖2(b)。此圖只需要選好區域之后，軟件自動(dòng)生成即可。顆粒系統和孔洞系統軟件可以把 AIM 的結果全部導入，一次zui多自動(dòng)處理1000張圖片，統計顆?；蚩锥吹牡闹睆?、圓度等數據，自動(dòng)生成統計報告。

(a)

(b)

圖2 (a) 自動(dòng)拼圖軟件結果 (b)拼圖中捕捉到的單張圖片

• 大面積視野的圖片對于尋找目標特征點(diǎn)的意義

圖3 尋找大視野范圍的特征物

圖3所示為珊瑚砂樣品，為了尋找其中的特征物，我們對可能存在的局部進(jìn)行了自動(dòng)拼圖，完成后結果一目了然，即可輕易地辨認其中的海洋生物化石。同樣的功能也可以應用在雜質(zhì)的尋找方面，公司的產(chǎn)品質(zhì)控部門(mén)往往需要找到雜質(zhì)的位置，而微觀(guān)的雜質(zhì)尋找需要耗費大量的人力，有了AIM軟件，便不需要借助光學(xué)顯微鏡數小時(shí)的尋找，只需選擇目標區域，軟件自動(dòng)找尋。

• 高分辨高清大圖對于大景深樣品拍照的作用

(a)

(b)

圖4 金屬斷口樣品的AIM拼圖結果 (a) AIM拼圖界面 (b) 局部的單圖

圖4 中顯示了AIM在斷口類(lèi)大景深樣品中的應用，由于AIM的跟蹤對焦功能和跟蹤自動(dòng)亮度對比度功能，可以實(shí)現樣品在凹凸起伏較大的情況下，不同的局部不同的焦距，zui終使樣品在大圖中的各個(gè)位置均非常清楚。這樣就有效避免了電鏡拍攝時(shí)“大景深模式“帶來(lái)的清晰度損失，以及景深過(guò)大導致的“局部清晰、局部模糊”的情況。

圖5 自動(dòng)拼圖軟件工作原理示意圖

圖5 是AIM自動(dòng)拼圖軟件跟蹤對焦(Follow Focus)的工作原理示意圖，可以清晰地看到，當樣品表面高低起伏時(shí)，BSD探頭可以根據焦距的變化自動(dòng)優(yōu)化焦距和亮度對比度，從位置1移動(dòng)到位置2的過(guò)程中，不需要人為干預，自動(dòng)給出*清晰度和顯示效果的圖片。在每張小圖都可以獲得*分辨率的前提下，zui終拼出來(lái)的大圖效果才會(huì )是、*、高清大圖。

zui后，不得不提的是，作為一款如此精品的軟件，價(jià)格卻是0元，*免費！只要配備了prosuite軟件套裝里的其他任何一款軟件，本軟件免費贈送。