臺式電鏡能譜一體機的工作流程如下:通過(guò)SEM的電子槍發(fā)射出高能電子束。電子束經(jīng)過(guò)準直系統聚焦后,照射到樣品表面。在電子束與樣品相互作用的過(guò)程中,產(chǎn)生的電子、次級電子和X射線(xiàn)等信號被收集和檢測。通過(guò)對信號的掃描、檢測和處理,可以得到樣品的表面形貌圖像和元素分布信息。
具有以下優(yōu)點(diǎn)和應用價(jià)值:可以實(shí)現對物質(zhì)表面形貌和元素成分的同時(shí)觀(guān)察和分析,能夠提供準確的樣品信息。其次,具有高分辨率和高靈敏度,可以對微小樣品進(jìn)行觀(guān)察和分析。此外,還可以被廣泛應用于材料科學(xué)、納米科學(xué)、生物醫學(xué)、環(huán)境科學(xué)等領(lǐng)域,用于研究材料的表面形貌、微結構、成分分析以及相互作用機制的研究等。
臺式電鏡能譜一體機的使用方法:
1.打開(kāi)電鏡能譜一體機的電源,讓儀器預熱一段時(shí)間。
2.將待測樣品放置在電鏡舞臺上,調節舞臺位置和放大倍數。
3.調節電子束的電流和加速電壓,使其適合樣品的特性。
4.利用電子束照射樣品,觀(guān)察樣品表面的結構。
5.若需要進(jìn)一步分析樣品的成分,可以將電子束聚焦在更小的區域上,并連接能譜儀進(jìn)行能譜分析。
6.利用能譜儀測量樣品的X射線(xiàn)能譜,得到樣品中元素的成分信息。
7.根據得到的成分信息,分析樣品的組成和結構特性。
臺式電鏡能譜一體機的維護保養主要包括以下幾個(gè)方面:
1.使用干凈的軟布或者專(zhuān)用的清潔劑擦拭儀器的外殼、顯示屏和操作面板等部位,保持儀器的干凈整潔。
2.保持周?chē)目諝饬魍?,避免堵塞風(fēng)扇和散熱口,確保儀器的正常散熱以提高設備的穩定性和使用壽命。
3.檢查和擰緊儀器內部的連接線(xiàn),確保連接可靠,避免因連接線(xiàn)松動(dòng)導致的故障。
4.定期從儀器中取出鏡頭和物鏡,并使用專(zhuān)用的清潔液和干凈的棉紗進(jìn)行清潔,避免灰塵和污垢附著(zhù)影響成像質(zhì)量。
5避免長(cháng)時(shí)間連續使用,注意使用電鏡能譜一體機時(shí)的工作規范,盡量不超過(guò)其額定工作時(shí)間和工作負荷。
6.“電鏡”和“能譜”功能的校準需要定期進(jìn)行,以確保儀器的準確性和可靠性。
7.根據耗材的使用壽命和使用頻率,定期更換電鏡能譜一體機的耗材,例如電極、濾膜、探頭等。
8.建立維護檔案,記錄維護保養的時(shí)間、方式和內容,方便日后查閱和維修。