臺式電鏡能譜一體機(Scanning Electron Microscope with Energy Dispersive X-Ray Spectroscopy，簡(jiǎn)稱(chēng)SEM-EDXS)是一種用于物質(zhì)結構表征和化學(xué)成分分析的先進(jìn)分析儀器。它結合了掃描電子顯微鏡(Scanning Electron Microscope，SEM)和能譜儀(Energy Dispersive X-Ray Spectrometer，EDXS)的功能，可以在微觀(guān)尺度下觀(guān)察樣品表面形貌和表征其元素成分。
 

　　掃描電子顯微鏡利用電子束和樣品的相互作用產(chǎn)生的信號來(lái)觀(guān)察和分析樣品表面形貌的儀器。SEM的工作原理基于電子束與樣品之間的相互作用，當電子束照射到樣品表面時(shí)，會(huì )與樣品中的原子和分子發(fā)生相互作用，從而產(chǎn)生多種信號。電子束的掃描可以得到樣品表面的圖像，并通過(guò)對信號的檢測和處理，獲得關(guān)于樣品的形貌、成分和結構等信息。
 

　　能譜儀是用于分析樣品化學(xué)成分的儀器。它利用X射線(xiàn)與樣品中的原子相互作用產(chǎn)生的特征X射線(xiàn)能譜來(lái)確定樣品的元素成分。在SEM-EDXS中，EDXS探測器位于SEM的側壁，可以同時(shí)接收到電子顯微鏡所產(chǎn)生的激發(fā)X射線(xiàn)。當電子束照射樣品表面時(shí)，樣品中的原子被激發(fā)產(chǎn)生特征X射線(xiàn)，這些X射線(xiàn)的能量和強度與樣品中的元素成分有關(guān)。EDXS探測器可以將這些X射線(xiàn)轉換為電信號，并通過(guò)能譜儀對信號進(jìn)行處理和分析，從而確定樣品的元素成分和分布情況。

 

　　臺式電鏡能譜一體機的應用：
 

　　1.材料科學(xué)研究：用于觀(guān)察材料的微觀(guān)結構，分析材料的成分、相態(tài)和晶體結構。
 

　　2.生物學(xué)研究：用于觀(guān)察生物樣品的細胞結構和組織構造，分析生物樣品中的元素成分。
 

　　3.納米科學(xué)研究：用于觀(guān)察納米材料的形貌和結構，分析納米材料的成分和表面特性。
 

　　4.環(huán)境監測：用于分析環(huán)境中的微粒物質(zhì)的成分，例如大氣中的顆粒物和水中的污染物。
 

　　5.失效分析：用于觀(guān)察故障材料的微觀(guān)結構，分析故障原因和機理。
 

　　6.工業(yè)質(zhì)量控制：用于分析材料中的元素成分，確保產(chǎn)品的質(zhì)量和一致性。