掃描電子顯微鏡是用極細(xì)的電子束在樣品表面掃描，將產(chǎn)生的二次電子用特制的探測器收集，形成電信號運送到顯像管，在熒光屏上顯示物體。（細(xì)胞、組織）表面的立體構(gòu)像，可攝制成照片。

   掃描電子顯微鏡樣品用戊二醛和餓酸等固定，經(jīng)脫水和臨界點干燥后，再於樣品表面噴鍍薄層金膜，以增加二波電子數(shù)，掃描電鏡樣品用戊二醛和餓酸等固定，經(jīng)脫水和臨界點干燥后，再于樣品表面噴鍍薄層金膜，以增加二波電子數(shù)。掃描電子顯微鏡能觀察較大的組織表面結(jié)構(gòu)，由於它的景深長，1mm左右的凹凸不平面能清所成像，故放樣品圖像富有立體感。掃描電鏡能觀察較大的組織表面結(jié)構(gòu)，由于它的景深長，1mm左右的凹凸不平面能清所成像，故放樣品圖像富有立體感。

   掃描電子顯微鏡自動定性分析是根據(jù)能量位置來確定峰位，直接單擊"操作/定性分析"按鈕，即可實現(xiàn)自動定性分析，在譜的每個峰的位置顯示出相應(yīng)的元素符號。

   掃描電子顯微鏡優(yōu)點是識別速度快，但由于能譜譜峰重疊干擾嚴(yán)重，自動識別極易出錯，比如把某元素的L系誤識別為另一元素的K系，這是它的缺點。為此分析者在儀器自動定性分析過程結(jié)束后，還必須對識別錯了的元素用手動定性分析進(jìn)行修正。所以雖然有自動定性分析程序，但對分析者來說，具有一定的定性分析技術(shù)實在是*的。

   掃描電子顯微鏡是通過X射線強(qiáng)度來獲取組成樣品材料的各種元素的濃度，根據(jù)實際情況，人們尋求并提出了測量未知樣品和標(biāo)樣的強(qiáng)度比方法，再把強(qiáng)度比經(jīng)過定量修正換算呈濃度比。掃描電子顯微鏡兩種定量分析方法：無標(biāo)樣定量分析法和有標(biāo)樣定量分析析法。

   電子束只打到試樣上一點，得到這一點的X射線譜的分析方法是點分析方法。與此不同的是，用掃描像觀察裝置，使電子束在試樣上做二維掃描，測量特征X射線的強(qiáng)度，使與這個強(qiáng)度對應(yīng)的亮度變化與掃描信號同步在陰極射線管上顯示出來，就得到特征X射線強(qiáng)度的二維分布的像。這種觀察方法稱為元素的面分布分析方法，它是一種測量元素二維分布的非常方便的方法。