掃描電子顯微鏡根據不同信息產生的機理，采用不同的信息檢測器，使選擇檢測得以實現。如對二次電子、背散射電子的采集，可得到有關物質微觀形貌的信息；對x射線的采集，可得到物質化學成分的信息。正因如此，根據不同需求，可制造出功能配置不同的掃描電子顯微鏡。掃描電子顯微鏡對于固體材料的研究應用非常廣泛，沒有任何一種儀器能夠和其相提并論。對于固體材料的全面特征的描述，掃描電子顯微鏡是至關重要的。

　　隨著電子技術和計算機技術的發(fā)展，不僅實現了數字化圖像，而且電鏡所有的功能都已經實現了數字化控制?，F代掃描電鏡電器控制系統(tǒng)高度集成化，掃描電鏡結構越來越緊湊，自動化功能越來越高，極大改善了人機操作環(huán)境。目前掃描電子顯微鏡的zui主要組合分析功能有:X射線顯微分析系統(tǒng)（即能譜儀,EDS），主要用于元素的定性和定量分析，并可分析樣品微區(qū)的化學成分等信息；電子背散射系統(tǒng)（即結晶學分析系統(tǒng)），主要用于晶體和礦物的研究。