掃描電鏡介紹
更新時(shí)間：2016-12-30 點(diǎn)擊量：2987
掃描電鏡全稱(chēng)為掃描電子顯微鏡，是自上世紀60年代作為商用電鏡面世以來(lái)迅速發(fā)展起來(lái)的一種新型的電子光學(xué)儀器。由于它具有制樣簡(jiǎn)單、放大倍數可調范圍寬、圖像的分辨率高、景深大等特點(diǎn)，故被廣泛地應用于化學(xué)、生物、醫學(xué)、冶金、材料、半導體制造、微電路檢查等各個(gè)研究領(lǐng)域和工業(yè)部門(mén)。
掃描電鏡的制造是依據電子與物質(zhì)的相互作用。當一束高能的入射電子轟擊物質(zhì)表面時(shí)，被激發(fā)的區域將產(chǎn)生二次電子、俄歇電子、特征X射線(xiàn)和連續譜X射線(xiàn)、背散射電子、透射電子，以及在可見(jiàn)、紫外、紅外光區域產(chǎn)生的電磁輻射。同時(shí)，也可產(chǎn)生電子-空穴對、晶格振動(dòng) (聲子)、電子振蕩 (等離子體)。原則上講，利用電子和物質(zhì)的相互作用，可以獲取被測樣品本身的各種物理、化學(xué)性質(zhì)的信息，如形貌、組成、晶體結構、電子結構和內部電場(chǎng)或磁場(chǎng)等等。掃描電子顯微鏡正是根據上述不同信息產(chǎn)生的機理，采用不同的信息檢測器，使選擇檢測得以實(shí)現。如對二次電子、背散射電子的采集，可得到有關(guān)物質(zhì)微觀(guān)形貌的信息；對X射線(xiàn)的采集，可得到物質(zhì)化學(xué)成分的信息。正因如此，根據不同需求，可制造出功能配置不同的掃描電子顯微鏡。
掃描電鏡在追求高分辨率、高圖像質(zhì)量發(fā)展的同時(shí)，也向復合型發(fā)展，即成為把掃描、透射及微區成分分析、電子背散射衍射等結合為一體的復合型電鏡，實(shí)現了表面形貌、微區成分和晶體結構等多信息同位分析。近幾年隨著(zhù)計算機、信息數字化技術(shù)的發(fā)展和在掃描電鏡上的應用，使得掃描電鏡的各種性能發(fā)生了新的飛躍，操作更加快捷，使用更加方便，是科學(xué)研究及至工業(yè)生產(chǎn)等許多領(lǐng)域應用的顯微分析儀器之一。
